メインローラー・ガイドローラーシリーズ
半導体用 メインローラー
半導体ウエハの切断に使用するメインローラーです。表面の一様性と寸法精度が重要な用途に対応し、三座標測定機とミツトヨ輪郭計器で全数を検証しています。
| 最大加工寸法 | Ø500 mm × 3000 mm |
|---|---|
| 検査 | 三座標測定機／ミツトヨ CV2100 輪郭計器 |
| 治具精度 | ≤ 0.003 mm |
製品特徴
- 輸入NSK高精度軸受を使用した治具
- ミツトヨ CV2100 輪郭計器と Formpak-2100 によるデータ解析
- 座標プロット出力により輪郭曲線を記録保存
対象業界
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