Halbleiter-Hauptrolle
Hauptrollen für den Schnitt von Halbleiterwafern, bei denen Oberflächengüte und Maßhaltigkeit entscheidend sind. Vollständig geprüft mit Koordinatenmessgerät und Mitutoyo-Konturmetrie.
| Max. Bearbeitungsmaß | Ø500 mm × 3000 mm |
|---|---|
| Prüfung | Koordinatenmessgerät / Mitutoyo Konturimeter CV2100 |
| Vorrichtungsgenauigkeit | ≤ 0.003 mm |
Produkteigenschaften
- Vorrichtungen auf importierten NSK-Präzisionslagern
- Mitutoyo Konturimeter CV2100 mit Formpak-2100-Datenauswertung
- Koordinatenausgabe zur Archivierung der Profilkurven
Anwendungen
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